贡壮勤扫描电镜的构造

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扫描电镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)是一种广泛用于研究微小物体的显微镜,能够通过电子束扫描样品表面,产生高分辨率、高对比度的图像。扫描电镜的构造是一个复杂而精确的系统,由多个部分组成,每个部分都扮演着至关重要的角色。

一、扫描电镜的物镜系统

扫描电镜的物镜系统是SEM的核心部分,负责将电子束聚焦在样品表面上。物镜系统通常由两个透镜组成,分别是物镜透镜和目镜透镜。物镜透镜通常是一个高透度的玻璃或塑料片,可以聚焦高能电子束。目镜透镜则负责将物镜透镜聚焦的电子束成像在观察者屏幕上。

二、扫描电镜的电子系统

扫描电镜的电子系统包括电子枪、加速器和电源。电子枪是SEM电子束的来源,通常是一个气体室,可以产生高能电子束。加速器则负责将电子束加速到很高的能量,以产生高能电子束。电源则负责提供稳定的电流和电压,以控制电子束的产生和加速。

三、扫描电镜的样品系统

扫描电镜的样品系统包括样品台、扫描探针和磁性束。样品台是一个平面或球面,可以放置待研究的样品。扫描探针则用于扫描样品表面,可以是一个金属或塑料片。磁性束则用于控制扫描探针的运动。

四、扫描电镜的数据系统

扫描电镜的数据系统负责处理和存储扫描电镜图像。数据系统通常包括一个或多个计算机,以及相应的软件程序。这些软件程序可以控制扫描电镜的电子系统和样品系统,以产生高质量的扫描图像。

扫描电镜是一台高度精确的仪器,其构造涉及许多不同的部分,包括物镜系统、电子系统、样品系统和数据系统。每个部分都扮演着至关重要的角色,共同实现SEM的高分辨率、高对比度图像。

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